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本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择，适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。
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本标准规定了用胶带粘贴检测真空镀膜膜层结合强度的测试方法，对试验工具、样本的采集要求和步骤、结果评估与评定等内容作了规定，适用于膜层与塑料基片之间的结合强度测试。
本标准适用于在10-4 Pa～10 Pa的压力范围内，用蒸发、溅射、离子镀等真空镀膜方式在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)和聚碳酸酯(PC）等塑料基片上制备金属膜层和非金属膜层，也适用于其他真空镀膜方法制备的膜层。
GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵溢流阀压差的测量方法。
GB/T 25753的本部分适用于抽速为30 L/s～20 000 L/s的罗茨真空泵（以下简称泵）。本部分不适用于罗茨真空泵机组性能的极限压力和抽气速率的测量。
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5Pa ～10-3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。
本标准规定了差压式气密检漏仪的术语和定义、分类、结构与基本参数、试验条件、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于以差压传感器为感压元件检测被测物和基准物之间压力差来确定被测物是否存在泄漏和漏率大小的各类差压式气密检漏仪（以下简称检漏仪）。
GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵最大允许压差的测量方法。
本部分适用于抽速为30 L/s～20 000 L/s的罗茨真空泵（以下简称泵）。
GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵零流量压缩比的测量方法。
本部分适用于抽速为30 L/s～20 000 L/s的罗茨真空泵（以下简称泵）。
本标准规定了直角型阀门的尺寸，以使其能与GB/T 16709.1和GB/T 16709.2中规定的弯管安装尺寸相匹配。
本标准包括的直角型阀门都带有GB/T 16709.1、GB/T 16709.2和ISO 3669中规定的法兰。
ISO 3669列出的两个法兰系列：
——首选系列；
——次选系列。
本标准仅涵盖带有次选系列法兰的阀门。
本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。
本标准适用于名义体积流率大于10 L/s的离子泵。
本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。
注： 本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行。由此做到由各制造厂家或各实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。
本指导性技术文件规定了压力范围从大气压低至10-13 Pa的真空系统中所使用的、固定或可旋转的、以螺栓连接和刀口型式的烘烤法兰尺寸。
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