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本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜,或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。
本文件描述了通过金相观察来表征热喷涂涂层孔隙率的方法。
本文件适用于热喷涂氧化物陶瓷(如Al2O3、ZrO2及TiO2)涂层孔隙率的测定,其他类型涂层孔隙率的评价也可参照此方法。