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- GB/T 44538-2024 碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

【国家标准】 碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
本网站 发布时间:
2025-04-01
- GB/T 44538-2024
- 现行
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适用范围:
本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜,或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜,或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。
标准号:
GB/T 44538-2024
标准名称:
碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
英文名称:
Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry标准状态:
现行-
发布日期:
-
实施日期:
2025-04-01 出版语种:
中文简体
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