17704692435
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。
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本文件规定了六氟丁二烯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。
本文件适用于由工业六氟丁二烯提纯制备的电子级六氟丁二烯。
本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。
本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。
本文件规定了三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于以硼酸、氟化氢和发烟硫酸（或三氧化硫）为主要原料制得的三氟化硼。
本文件不适用于半导体制造用的三氟化硼。
GB/T 28125的本部分规定了空分工艺气体中矿物油含量测定的方法原理、试剂和材料、仪器和设备、采样、悬浮油的测定、蒸汽油的测定、总矿物油的含量、报告和注意事项。
本部分适用于空气分离工艺中氧气、氮气、氩气、氦气及压缩空气等气体中矿物油含量的测定。矿物油含量测定范围为0.001 mg/m3～10 mg/m3。
GB/T 5832的本部分规定了采用石英晶体振荡法测定气体中微量水分的方法原理、仪器要求、测定步骤、结果处理和试验报告。
本部分适用于氢、氧、氮、氦、氖、氩、氪、氙、六氟化硫、一氧化碳、氧化亚氮、空气等气体及其混合气体中微量水分的测定，不适用于对石英晶体有腐蚀的气体以及能与水分发生反应的气体。测定范围：0.1×10-6（体积分数)～2 000×10-6（体积分数)。
本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。
本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。
本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。
本标准定义了气体分析相关的术语，主要侧重于气体分析和气体测量中使用的校准用混合气体相关的术语。不包括仅与特定应用相关的术语。
本标准规定了气体组分含量测量过程及结果相关的校准技术要求，包括测量标准、测量标准的取气、输气系统、比较法校准、计量设备的溯源性要求以及测量结果的不确定度。本标准适用于采用比较法对气体组分含量进行的测量。
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