- 您的位置:
- 中国标准在线服务网 >>
- 全部标准分类 >>
- 国家标准 >>
- G86 >>
- GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷

【国家标准】 电子工业用二氯硅烷
本网站 发布时间:
2021-02-01
- GB/T 38866-2020
- 现行
开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!  
查看详情>>
标准号:
GB/T 38866-2020
标准名称:
电子工业用二氯硅烷
英文名称:
Dichlorosilane for electronic industry标准状态:
现行-
发布日期:
2020-07-21 -
实施日期:
2021-02-01 出版语种:
中文简体
起草人:
丰雷 叶家爱 龚瑞 杨剑 刘畅 万烨 张园园 王春英 戴帅 谢秋琪 袁乐 傅铸红 禹金龙 杨利 于青玉 方华 曹作斌 曲庆 陈鹰 李春华 黄辉 谭鹏程 邓远方 周鹏云 李威 方艾黎 谭依玲起草单位:
湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
- 推荐标准
- 国家标准计划
- GB/T 43976-2024 电子气体 四氟甲烷
- GB/T 43977-2024 电子气体 八氟环丁烷
- GB/T 35861-2024 气体分析 校准用混合气体的通用质量要求和计量溯源性
- GB/T 5275.1-2024 气体分析 动态法制备校准用混合气体 第1部分:通用要求
- GB/T 43306-2023 气体分析 采样导则
- GB/T 43361-2023 气体分析 道路车辆用质子交换膜燃料电池氢燃料分析方法的确认
- GB/T 43362-2023 气体分析 微型热导气相色谱法
- GB/T 43094-2023 工业用反式-1-氯-3,3,3-三氟丙烯[HCFO-1233zd(E)]
- GB/T 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷
- GB/T 42721-2023 电子特气 一氧化氮
- GB/T 5275.6-2023 气体分析 动态法制备校准用混合气体 第6部分:临界流锐孔
- GB/T 5275.2-2022 气体分析 动态法制备校准用混合气体 第2部分:活塞泵
- GB/T 41757-2022 六氟环氧丙烷
- GB/T 41752-2022 气体分析 分析偏倚的研究与处理
- GB/T 41326-2022 六氟丁二烯