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【国家标准】 电子工业用二氯硅烷

本网站 发布时间: 2021-02-01
  • GB/T 38866-2020
  • 现行
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适用范围:

本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 38866-2020

  • 标准名称:

    电子工业用二氯硅烷

  • 英文名称:

    Dichlorosilane for electronic industry
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2020-07-21
  • 实施日期:

    2021-02-01
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    71.100.20
  • 中标分类号:

    G86

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

    16 页
  • 字数:

    21 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

    丰雷 叶家爱 龚瑞 杨剑 刘畅 万烨 张园园 王春英 戴帅 谢秋琪 袁乐 傅铸红 禹金龙 杨利 于青玉 方华 曹作斌 曲庆 陈鹰 李春华 黄辉 谭鹏程 邓远方 周鹏云 李威 方艾黎 谭依玲
  • 起草单位:

    湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司
  • 归口单位:

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 提出部门:

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 发布部门:

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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