17704692435
本标准规定了纯甲烷、高纯甲烷的要求、检验规则、试验方法以及包装、标志、贮运及安全警示等。
本标准适用于由低温精馏法自天然气提取的甲烷。纯甲烷和高纯甲烷主要用于标准混合气的制备、催化剂评价、金属与合金的渗碳和碳化物生成、微生物培养、冷冻剂以及化工原料等。
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本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式：WF6。分子量：297.830 419 2（按2009年国际相对原子质量计算）。
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品，以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式：C3F8。相对分子质量：188.017（按2011年国际相对原子质量）。
本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式：GeH4。
相对分子质量：76.662（按2011年国际相对原子质量计算）。
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HCl。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。
本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。
本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。
分子式：Cl2。
相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）。
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。分子式：SF6。相对分子质量：146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）。
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。分子式：SiF4。相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。
本标准规定了纯氖和高纯氖的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全警示等。
本标准适用于以深冷法提取的纯氖和高纯氖，主要用于霓虹灯及作为电子工业的填充介质,也用于激光技术、高能物理、混合气配制。
分子式：Ne。
相对分子质量：20.1797（按2009年国际相对原子质量）。
GB/T 5275的本部分规定了动态体积法制备混合气体所涉及的校准方法，并简要介绍了动态体积法制备技术的部分实例。关于动态体积法制备技术在GB/T 5275的其他部分有更详细的描述。
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