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- GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷

【国家标准】 电子工业用气体 八氟丙烷
本网站 发布时间:
2016-05-03
- GB/T 31986-2015
- 现行
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适用范围:
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式:C3F8。相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。
标准号:
GB/T 31986-2015
标准名称:
电子工业用气体 八氟丙烷
英文名称:
Gas for electronic industry—Perfluoropropane标准状态:
现行-
发布日期:
2015-09-11 -
实施日期:
2016-05-01 出版语种:
中文简体
起草人:
林宇巍 陈熔 史婉君 方路 廖恒易 金向华 孙猛 方华 孙福楠 方正 崔学文 周鹏云起草单位:
国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
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