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- GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧

【国家标准】 电子工业用气体 氧
本网站 发布时间:
- GB/T 14604-2009
- 现行
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适用范围:
本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
分子式:O2。
相对分子质量:31.998 8(按2005年国际相对原子质量计算)。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
分子式:O2。
相对分子质量:31.998 8(按2005年国际相对原子质量计算)。
标准号:
GB/T 14604-2009
标准名称:
电子工业用气体 氧
英文名称:
Gas for electronic industry—Oxygen标准状态:
现行-
发布日期:
2009-10-30 -
实施日期:
2010-05-01 出版语种:
中文简体
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