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【国家标准】 微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

本网站 发布时间:
  • GB/T 44839-2024
  • 现行
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适用范围:

本文件描述了微柱压缩试验方法,用于MEMS 材料压缩特性的高精度、高重复性测量,且试样制造难度适中;测量试样单向压缩应力﹘应变的关系,得到试样压缩弹性模量和屈服强度。
试样是通过微加工技术在刚性(或高刚度)基体上制造的圆柱,其高径比(高度与直径的比值)大于3 为宜。本文件适用于金属、陶瓷、高分子等材料制备的高度小于100 μm 微柱的测试。

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 44839-2024

  • 标准名称:

    微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

  • 英文名称:

    Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Micro-pillar compression test for MEMS materials
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

  • 实施日期:

    2025-02-01
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    31.080.99
  • 中标分类号:

    L59

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

    《半导体器件 微机电器件 第10部分:MEMS 材料微柱压缩试验方法》 IDT 等同采用

出版信息

  • 页数:

    16 页
  • 字数:

    15 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

  • 起草单位:

  • 归口单位:

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
  • 提出部门:

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
  • 发布部门:

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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